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    真空泵的几种类型

    发布者:btbengfa     发布时间:2011-6-16 15:30:26    阅读:50

    真空泵按其工作原理可以分为机械,物理和化学方式.根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合.
        常用真空泵
        1:旋转式机械泵
        2:分子泵(TMP)
        3:离子泵
        4:Ti升华泵
        5:低温泵
        曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用.
        旋转式机械泵
        以油封式真空泵为例加以介绍.
        构造:偏心轴转子,固定翼,油.旋转动力是电机.
        原理:转子紧贴泵壁内侧旋转.固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出.
        特征:
        排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度.操作简单.可以从大气压状态下启动.油要蒸发.
        为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵.
    分子泵(TMP)
        构造:电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片.
        原理:每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口.旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行.这种排气方式,排气速度不因气体种类而变.
        特征:
        不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度.排气速度不受气体种类影响.构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求.有振动.需要和其它初段排气泵组合.
    离子泵  
        构造:强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极.
        原理:通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高.和气体分子反应之后生成化合物.
        一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部.
        特征:
        能达到超高真空(10-10Pa)
        需要和其它初段排气泵组合.
        有一定寿命.
        Ti升华泵
        构造:加热电阻丝、Ti材料(线或球).
        原理:通过加热电阻丝,使Ti升华.因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物.反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果.如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度.比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度. 在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低.因此需要和其他排气泵组合使用.
        特征:
        排气速度大.
        没有运动部分,没有振动.
        需要和其它初段排气泵组合.
        有一定寿命.
        低温泵
        构造:冷冻机、液态He.
        原理:利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果.
        特征:
        能达到超高真空(10-11Pa)
        排气速度快.
        安装方向不受限制.

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